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CVD法制备单晶金刚石的现状及研究进展

论文摘要

单晶金刚石因其独特结构而具有优异的物理化学性能,在许多科学技术领域具有潜在的重要应用价值,被广泛应用于工业、科技、国防、医疗卫生等众多领域。用化学气相沉积法实现高沉积速率、高质量、大面积的金刚石单晶的制备是目前研究的热点。本文对化学气相沉积法制备单晶金刚石的机理进行了分析,对比了化学气相沉积法合成金刚石的几种主要方法,总结了其优缺点,在已有研究工作和生产经验的基础上提出了合理化的建议,为单晶金刚石的产业化提供有价值的参考。

论文目录

  • 1 CVD法制备金刚石的工艺流程及制备机理
  •   1.1 工艺流程
  •   1.2 合成机理分析
  • 2 CVD合成单晶金刚石的技术方法对比分析
  •   2.1 微波等离子体CVD方法（MPCVD）
  •   2.2 直流等离子体CVD法
  •   2.3 热丝CVD法（HFCVD）
  •   2.4 燃烧火焰CVD法（CFCVD）
  • 3 结语

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 潘红星,范波,闫建明,徐帅

    关键词: 单晶金刚石,化学气相沉积法,合理化,产业化

    来源: 化工技术与开发 2019年09期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,超硬材料磨具国家重点实验室

    分类号: TQ163

    页码: 27-31

    总页数: 5

    文件大小: 1132K

    下载量: 525

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/dfe45e501873ce85db2d9fa5.html