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光谱共焦传感器校准方法对比分析

论文摘要

主要对光谱共焦传感器的校准时的误差进行研究。分别利用激光干涉仪与高精度测长机对光谱共焦传感器进行测量,用球面测头保证光谱共焦传感器的光路位于测头中心,以保证光谱共焦传感器的在测量时的安装精度,然后更换平面侧头,对光谱共焦传感器进行校准。用最小二乘法对测量数据进行处理,得到测量数据的非线性误差。结果表明:高精度测长机校准时的非线性误差为0. 030%,激光干涉仪校准时的分析线性误差为0. 038%。利用最小二乘法进行数据处理及非线性误差的计算,减小校准时产生的同轴度误差及光谱共焦传感器的系统误差,提高对光谱共焦传感器的校准精度。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 光谱共焦传感器简介
  • 3 校准方法研究
  •   3.1 实验过程
  •     3.1.1 高精度测长机对光谱共焦传感器的校准
  •     3.1.2 激光干涉仪对光谱共焦传感器的校准
  •   3.2 非线性误差计算
  •     3.2.1 校准误差计算
  •     3.2.2 非线性误差计算
  • 4 结论

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 闫勇刚,刘志浩,朱小平,杜华,李加福

    关键词: 计量学,光谱共焦,非接触测量,误差分析,校准

    来源: 计量学报 2019年S1期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技

    专业: 自动化技术

    单位: 河南理工大学,中国计量科学研究院

    基金: 河南省高校基本科研业务费专项资金(NSFRF180332)

    分类号: TP212

    页码: 23-28

    总页数: 6

    文件大小: 1993K

    下载量: 57

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/e7881e30842124f7fe8ff5b2.html