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单晶铌酸锂薄膜的转移制备技术研究

论文摘要

以苯并环丁烯（Benzocyclobutene,BCB）作为键合层,采用离子注入剥离技术制备了Y36切型的单晶铌酸锂薄膜材料。经过对BCB键合层的前烘时间和退火曲线进行系统的研究,克服了由于铌酸锂和BCB之间热膨胀系数不匹配所导致的铌酸锂薄膜开裂问题,获得了高质量的Y36切型单晶铌酸锂薄膜材料。此外,通过在晶圆键合之前预先制备图形化的金属层,获得了带有下电极功能层的单晶铌酸锂薄膜,可应用于薄膜体声波谐振器等具有金属-绝缘层-金属结构的器件。

论文目录

  • 1 实验
  • 2 结果和分析
  •   2.1 探究BCB胶厚度对单晶LN薄膜的影响
  •   2.2 探究前烘时间对单晶LN薄膜的影响
  •   2.3 探究前烘温度对单晶LN薄膜的影响
  •   2.4 探究温度曲线对单晶LN薄膜的影响
  •   2.5 探究图形化金属层对单晶LN薄膜的影响
  • 3 结论

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 帅垚,李宏亮,吴传贵,王韬,张万里

    关键词: 铌酸锂薄膜,晶圆键合,离子注入剥离技术

    来源: 电子元件与材料 2019年07期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 材料科学,工业通用技术及设备,无线电电子学

    单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

    基金: 国家重点研发计划项目资助(2017YFB0406402),国家自然科学基金资助(51772044)

    分类号: TN751.2;TB383.2

    DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.07.002

    页码: 7-12

    总页数: 6

    文件大小: 2432K

    下载量: 270

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/ef0fe5249f3d289825ad75f9.html