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MEMS陀螺仪驱动谐振频率的温度补偿方法

论文摘要

微机电系统（MEMS）陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40～60℃范围内变化,经多次循环测量陀螺零偏,获得零偏与温度之间的变化关系,并在此基础上,对零偏进行建模分析。利用谐振频率与温度的线性关系,以驱动谐振频率为温度参考,对陀螺零偏进行实时温度补偿。实验结果表明:上电零偏稳定性由补偿前的143. 81°/h变为补偿后的26. 51°/h,降低了5. 42倍;温度在-40～60℃范围内变化,补偿前后的零偏稳定性分别为1368. 05°/h和62. 86°/h,降低了22倍。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 MEMS陀螺仪温度敏感性分析
  • 2 MEMS陀螺零偏温度补偿模型的建立
  • 3 MEMS陀螺温度补偿实验结果分析
  •   3.1 MEMS陀螺在室温下上电补偿结果
  •   3.2 MEMS陀螺在全温下的补偿结果
  • 4 结论

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 刘玉县,汤丽,陈婷,何春华

    关键词: 微机电系统陀螺,驱动谐振频率,零偏,实时温度补偿

    来源: 传感器与微系统 2019年05期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

    专业: 机械工业

    单位: 广东顺德创新设计研究院,北京大学微电子学研究所微纳加工国家重点实验室

    基金: 国家自然科学基金资助项目(61434003)

    分类号: TH-39

    DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0052-03

    页码: 52-54+58

    总页数: 4

    文件大小: 546K

    下载量: 187

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/f0408e48efdc36ff830f5ea0.html