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软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析

论文摘要

随着半导体产业技术发展,提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质越来越重要。国内目前普遍采用软轴单晶炉进行锗、硅单晶棒生产,软轴单晶炉相对硬轴单晶炉具有结构紧凑,运行可靠、设备成本低等的优点,但是软轴单晶炉由于软轴系统类似于单摆和弹簧振子的结构特点,容易产生固有共振干扰,存在对晶体品质不利的影响因素。对这些干扰因素、解决措施进行了简要分析和讨论。

论文目录

  • 1 软轴单晶炉结构特点和固有干扰分析
  •   1.1 软轴单晶炉结构特点
  •   1.2 软轴单晶炉固有干扰因素分析
  •     1.2.1 软轴单晶炉热场
  •     1.2.2 软轴系统的单摆振动
  •     1.2.3 软轴系统的弹簧振荡
  •     1.2.4 软轴系统扭摆震荡和傅科摆的干扰
  • 2 讨论
  •   2.1 软轴单晶炉热场改进
  •   2.2 固有干扰的抑制
  •     2.2.1 稳定晶体生长过程中的工艺参数控制
  •     2.2.2 机械阻尼或者电磁阻尼
  •     2.2.3 实例
  • 3 结语

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 张志坚,池蓉,罗凤灵

    关键词: 单晶,软轴单晶炉,固有干扰

    来源: 云南冶金 2019年05期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 化学

    分类号: O782

    页码: 65-71

    总页数: 7

    文件大小: 1643K

    下载量: 45

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/fca394f0a36b4488bc55bf35.html