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自研角度计量转台在圆分度器件校准中的应用

论文摘要

为了实现亚角秒级圆分度器件的高精度校准,建立了基于角度计量转台和自准直仪的角度测量系统,研究了基于无实物基准的圆分度误差检测方法和控制测量系统引入误差的策略。简要介绍了基于真空预载气浮支承和超声马达驱动的自研转台的结构,搭建了整个测量系统。利用圆封闭原理和最小二乘原理分析了圆分度误差的测量算法,讨论了测量过程的误差来源,并分析了抑制各误差源的方法。最后,在构建的测量系统上测量了多齿分度台的圆分度误差,并对测量不确定度进行了分析。实验结果表明:自研计量转台和被校多齿分度台的最大圆分度误差分别为0.12″和0.15″,测量不确定度为0.05″(k=2)。通过比对,表明测量系统能够实现亚角秒级圆分度误差的高精度校准。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 角度计量转台及测量系统的搭建
  •   2.1 角度计量转台
  •   2.2 测量系统的搭建
  • 3 圆分度误差的测量算法
  •   3.1 基本原理
  •   3.2 参考角误差消除算法
  • 4 影响因素的分析及抑制
  •   4.1 环境因素
  •   4.2 安装因素
  •     4.2.1 多面棱体安装偏心对测量结果的影响
  •     4.2.2 多面棱体工作面平面度对测量结果的影响
  •     4.2.3 反射面与基准面的不垂直 （塔差） 对测量结果的影响
  •   4.3 仪器因素
  • 5 试验
  •   5.1 分度台校准试验
  •   5.2 不确定度评定
  •     5.2.1 数学模型
  •     5.2.2 不确定度来源
  •     5.2.3 不确定度计算
  •   5.3 试验结果与对比分析
  • 6 结论

    • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 黄明,刘品宽,夏仰球,李梦阳,唐强

    关键词: 测角转台,角度校准,分度误差,误差分析,不确定度评定

    来源: 光学精密工程 2019年01期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑

    专业: 仪器仪表工业

    单位: 上海交通大学机械与动力工程学院,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

    基金: 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(No.K1065)

    分类号: TH741.2

    页码: 110-120

    总页数: 11

    文件大小: 574K

    下载量: 102

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    本文来源: https://www.lunwen66.cn/article/fe13745f600c89041920b72c.html