mems传感器论文

赵佰军[1]2004年在《声表面波用ZnO薄膜的制备及器件的初步研究》文中研究指明ZnO材料是一种宽禁带的多功能半导体光电材料，在许多领域都具有广泛的用途。例如，可用于制作紫外发光管和激光器、紫外探测器、高频表面声波器件、透明导电电极和声光换能器等，所以一直倍受研究人员的关注。特别是1996年，Zn...

刘庆辉[1]2004年在《基于MEMS的声表面波器件设计与制作的关键技术研究》文中研究指明频率高、体积小、功能多、稳定性好、易于批量生产的声表面波器件,以其独特的性能,成为与大规模集成电路、电荷耦合器件并列的叁大固体微电子器件之一,在移动通信、航空航天、电子对抗等军用和民用领域得到了广泛应用。新兴的...

温中泉[1]2003年在《微型振动式发电机的基础理论及关键技术研究》文中进行了进一步梳理微电源是MEMS技术发展最重要的研究方向之一，随着MEMS技术的迅速发展和成熟，微电源已成为该领域急待研究解决的关键问题，是实现MEMS传感器、执行器和微系统独立工作最重要的关键基础部件。尽管各种微电源已经面世，...