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AlCrTaTiZrMo高熵合金氮化物扩散阻挡层的制备与表征
论文摘要目的制备15nm的（AlCrTaTiZrMo）N六元高熵合金氮化物薄膜,并对其扩散阻挡性能进行表征。方法使用直流磁控溅射设备在单晶硅上沉积（AlCrTaTiZrMo）N...