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声表面波用ZnO薄膜的制备及器件的初步研究
赵佰军[1]2004年在《声表面波用ZnO薄膜的制备及器件的初步研究》文中研究指明ZnO材料是一种宽禁带的多功能半导体光电材料,在许多领域都具有广泛的用途。例如,可用于制作紫外发光管和激光器、紫外探测器、高频表面声波器件、透明导电电极和声光换能器等,所以一直倍受研究人员的关注。特别是1996年,Zn...