靶电流论文

Ti靶电流对CrTiAlN涂层摩擦磨损性能的影响
论文摘要在不同Ti靶电流下,采用非平衡磁控溅射技术在SDC99冷作模具钢表面制备CrTiAlN涂层。采用X射线衍射仪、原位纳米力学测试系统和摩擦磨损试验机等测试分析了Ti靶电流...