摆动刻蚀论文

摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅
论文摘要通过摆动离子束刻蚀方法,制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅。该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀,解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题。建立了摆动刻...