白光干涉论文

一种可溯源原子力探针显微镜
论文摘要研制了一种基于白光干涉的可溯源原子力探针扫描显微镜,提出了一种稳健的白光干涉零级条纹定位算法,建立了一套高分辨激光干涉位移测量系统。在此基础上提出了一种探针标定方法,实...
光纤白光干涉测量技术应用研究
论文摘要随着科学技术的飞速发展,人们对于生产生活智能化的要求不断提高。传感器测量技术作为社会智能化、网络化发展中的重要一环,对其测量精度、系统稳定性、技术可靠性及使用环境等方面...
白光干涉条纹色偏移机理与校正技术研究
论文摘要白光显微干涉技术将白光干涉技术与显微成像技术结合起来,实现了微观三维形貌的测量,因其快速、非接触、高精度等一系列优点,多年来一直受到广泛的关注。在理想情况下,白光干涉信...
白光扫描干涉过程的自动对焦方法研究
论文摘要针对白光扫描干涉系统由于物镜景深小、干涉区间短而导致的调焦不准确、查找条纹困难、耗时长等问题,提出一种适用于白光干涉仪的自动对焦方法,该方法包括一种结合穷举法与爬山法的...