半导体光刻论文

全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用
论文摘要简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全固态高压...