半导体硅材料论文

低温红外分析半导体硅材料影响因素研究
论文摘要低温红外光谱在半导体材料的结构、成分分析中有非常广泛的应用。本文从样品制备、仪器条件2个方面论述了低温傅立叶变换红外光谱仪分析半导体硅材料中间隙氧、代位碳及Ⅲ族、Ⅴ族杂...