半固结磨料研磨盘论文

蜂窝状结构半固结磨料研磨盘的制备及应用
论文摘要针对传统半固结研磨盘由于盘面较软使得加工衬底面形精度难以保证的问题,提出一种蜂窝状结构的半固结磨料研磨盘的设计与制备方法。该研磨盘采用环氧树脂蜂窝结构作为支撑"...