半球液体静压轴承论文

基于液体静动压的超精密机床头架设计
论文摘要目前超精密机床和仪器的主轴回转精度已经从微米级向着亚微米甚至毫微米级发展,因此采用何种轴系结构来达到这种精度是设计和制造者所关注的一个极其重要的问题。基于此,在设计超精...