薄膜铂热电阻论文

退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探究
论文摘要合理的退火工艺可有效改善薄膜铂电阻的热阻参数。为了探究退火工艺对于薄膜铂电阻热阻特性的影响,探究了陶瓷基底上由磁控溅射工艺制备出的宽度为60μm,高度为300nm的铂热...