薄膜电阻论文

论文摘要本文通过直流磁控溅射法在96氧化铝基板上沉积镍铬硅薄膜,然后采用光刻及湿法刻蚀工艺实现不同要求的电阻图形。图形化过程中,分别对比HNA刻蚀体系、TMAH刻蚀体系以及催化...

万徽[1]2004年在《硅基纳米湿敏元件特性、机理研究及其测试仪设计》文中研究说明以硅片为衬底制作了纳米钛酸钡(BaTiO_3)膜湿敏元件。用硬脂酸盐法合成纳米钛酸钡材料，丝网印刷法将纳米钛酸钡涂在硅衬底上制成电阻式湿敏元件。测试分析了元件的性能参数，结果表明，元件具有较高的灵敏度。元件阻抗(Z)和...