薄膜特性论文

不同基底对等离子体射流放电及薄膜特性的影响
论文摘要等离子体材料表面处理包括等离子体–基底相互作用过程,绝缘或金属基底的存在会改变等离子体放电和化学气相沉积过程,进而影响沉积薄膜特性。为此重点研究大气压等离子体射流薄膜沉...