薄膜阵面论文

测试真空中薄膜阵面自振特性的等代方法
论文摘要大气环境下,空气产生的附加质量会大大折减薄膜阵面的刚度,致使薄膜阵面的自振特性与在实际真空工作环境中存在较大误差。基于针对真空中薄膜阵面动力特性进行试验验证,而开展真空...