表面波等离子体论文

大气压脉冲调制表面波等离子体的发射光谱诊断及特性研究
论文摘要大气压微波等离子体由于无需电极、高功率密度和安全等优点,因此在实际工业中具有广泛的应用前景,备受国内外实验室的关注。与微波谐振腔放电相比,以微波表面波形式激励的等离子体...