表面层损伤论文

碲锌镉晶片研抛加工表面层损伤的研究
论文摘要介绍了碲锌镉晶片背面研抛机的工艺过程和原理,研究了研抛工艺中砂轮粒度、砂轮进给率、砂轮转速和工作台转速对晶片表面层损伤深度的影响。论文目录1晶片研抛机工艺过程和原理1....