铂薄膜论文

退火工艺对磁控溅射生长的Pt薄膜微观结构及电性能的影响
论文摘要铂（Pt）是温度传感器常见的敏感材料。为了改善退火工艺提高Pt薄膜的电学特性,采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了以钽（Ta）为粘附层的Pt敏感薄膜,研究了不同退火温...