V型电热微致动器

导读:本文包含了影响参数论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:硅流体芯片,多物理场仿真,V型电热微致动器,几何参数影响参数论文文献综述周铖杰,吴央芳,夏春林,王玉...