残存电荷论文

一种优化等离子体刻蚀工艺去静电步骤的方式
论文摘要该文研究并优化了等离子体刻蚀后、去静电过程中等离子体辅助晶片去静电的工艺步骤。通过数据模拟和实验设计,研究了极板间距、反应室压力、射频电源功率和射频电源关闭方式对晶片残...