测量膜厚论文

基于FPGA的晶振膜厚控制系统设计
论文摘要通过以CYCLONEEP2C35FPGA芯片为平台,有机地结合嵌入式软件设计和光学镀膜技术,运用石英晶体监控法,通过采集石英晶体监控的信号数据,采用测量膜厚算法和PID...