掺氮类金刚石薄膜论文

低氮掺杂对含氢类金刚石结构和力学性能的影响
论文摘要为探讨低氮掺杂对含氢类金刚石组织结构和力学性能的影响.采用非平衡磁控溅射和等离子增强化学气相沉积（PECVD）复合技术,在316不锈钢和硅片上制备碳化钨过渡层和不同掺氮...