掺锡论文

掺锡In2O3薄膜的晶粒生长及其微观结构性质研究
论文摘要以氧化锡（SnO2）掺杂的氧化铟（In2O3）陶瓷靶作为溅射源材料,利用射频磁控溅射工艺在普通玻璃基底上沉积了掺锡In2O3（In2O3:Sn）薄膜样品,通过XPS、X...