超磁致伸缩作动器论文

超磁致伸缩作动器激光干涉位移测量系统
论文摘要由于超磁致伸缩作动器的位移在微米级,对其精确测量至关重要,针对激光干涉测量技术中分立元件迈克尔逊激光干涉仪存在环境要求高、调整烦琐和易受干扰等缺点,采用全光纤迈克尔逊干...