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超高纯锗棒或锭的净杂质浓度检测方法
论文摘要介绍了一种检测超高纯锗棒或锭的净杂质浓度的新方法,采用直流两探针法,在77K恒温下进行检测;两探针检测得到等间距电压降U,通过函数关系式计算得到电阻率ρ,再根据函数关系...