成膜机理论文

PEG/WCl6添加比例对WO3薄膜形貌及气敏特性的影响
论文摘要以氯化钨（WCl6）、无水乙醇（C2H5OH）和二甲基甲酰胺（C3H7NO）为前驱体,以聚乙二醇（PEG-1000）为造孔剂,采用非水解溶胶-凝胶法制备WO3多孔薄膜,...