迟滞误差补偿论文

新型硅压阻式压力传感器的设计、制作与性能补偿研究
论文摘要为兼顾高灵敏度与低非线性误差,针对性地设计和研究了一种量程为105kPa的新型MEMS硅压阻式压力传感器,该传感器通过部分刻蚀SOI硅膜引入了凸起的压敏电阻和L形半岛结...