磁开关论文

全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用
论文摘要简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全固态高压...
全固态纳秒脉冲电源中变压器及磁开关的仿真优化
论文摘要保障纳秒脉冲电源的性能有利于在大气压下产生稳定的低温等离子体。为了进一步探究材料对电源中各磁性元件性能的影响,优化磁性元件尺寸以提高电源紧凑性,本文首先明确分析了电源中...