磁控电流论文

磁控电流对Ti600钛合金表面WC-C膜组织和性能的影响
论文摘要目前,利用离化C2H2和共溅WC靶相结合（PACVD+UBMS）制备WC-C膜,以及膜结构、性能与工艺参数间关系的文献报道较少。采有PACVD+UBMS在Ti600钛合...