磁控溅射论文

论文摘要以电弧复合磁控溅射沉积工艺在Ti600合金基体上沉积得到Ti-Al-N涂层,通过控制公转速度的方式来获得不同涂层组分,实验研究涂层组分对涂层组织微观结构的影响。研究结果...

论文摘要采用RF反应磁控溅射技术在不同制备条件下制备了Al掺杂ZnO薄膜（ZAO）,研究了不同条件下ZAO薄膜的光电性质。结果表明,薄膜电阻主要由晶界电阻决定,且导电性随Ar∶...

论文摘要高精度光滤波器是密集波分复用光通信系统、特殊波段的图像检测系统和超精细分割的光谱分析系统中必不可少的光波选择与提取器件。光子晶体可以阻止或允许部分波段的光传播,具有控制...

论文摘要氮化铌(NbN)由于其较高的超导转变温度、较窄的转变宽度以及良好的稳定性一直被广泛地应用于低温超导器件中.因此,生长高质量的超导NbN薄膜是制备高性能薄膜超导器件的关键...

论文摘要铂（Pt）是温度传感器常见的敏感材料。为了改善退火工艺提高Pt薄膜的电学特性,采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了以钽（Ta）为粘附层的Pt敏感薄膜,研究了不同退火温...

论文摘要利用磁控溅射技术在氩氢混合气氛以及纯氩（Ar）气氛中分别制备（FeCo）xGe1-x-H和（FeCo）xGe1-x磁性半导体薄膜。对于2种磁性半导体薄膜,采用X射线衍射...

论文摘要采用卷状聚氨酯海绵为基体,经80℃烘干、磁控溅射铜导电化、焦磷酸盐电沉积铜和热处理,得到三维孔状结构均匀分布和物理性能良好的连续泡沫铜。论文目录文章来源类型:期刊论文作...

论文摘要采用磁控溅射技术在Ti6Al4V合金表面制备了含Ag和不含Ag的Ta2O5/Ta2O5/Ta2O5-TiO2/TiO2/Ti多层复合涂层（分别用Ag-MTa2O5和MT...

论文摘要采用自主研发的大弧源技术,复合中频磁控溅射石墨靶,避免H元素的引入,在锆合金表面快速沉积了致密、超厚（约20μm）的Ti–Al–C涂层。经过不同温度（550、650、7...

论文摘要目的改善GH4169合金的表面性能,制备摩擦学性能优良的复合薄膜。方法采用离子源辅助直流磁控溅射技术制备NiCrAlY/Ag复合薄膜,研究沉积温度分别为60、120、1...

论文摘要目的利用真空镀膜技术对铁氧体电磁感芯表面进行金属化处理,对金属薄膜的结构及性能进行综合分析,为其实现工程应用提供一定的理论基础。方法采用多腔一体式磁控溅射设备在铁氧体磁...

论文摘要采用磁控溅射技术在Ti6Al4V钛合金表面制备了Ta2O5/Ta2O5-Ti/Ti多层涂层;利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）和X射线光电子能谱仪（X...

导读:本文包含了束功率密度论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:密度,功率,离子束,磁控溅射,形貌,激光器,室温。束功率密度论文文献综述赵越,李卫东...

导读:本文包含了矩形平面论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:矩形,平面,阵列,磁控溅射,电平,城池,天线。矩形平面论文文献综述郑晓清,董丹申,董石...

导读:本文包含了锰铜传感器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:传感器,薄膜,高压,氧化铝,压力测试,磁控溅射,雷管。锰铜传感器论文文献综述叶建波[...

导读:本文包含了半导体桥论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:半导体,薄膜,火具,磁控溅射,特性,点火器,热敏电阻。半导体桥论文文献综述郑子龙,张文...

导读:本文包含了磁性颗粒薄膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:颗粒,薄膜,纳米,磁性,霍尔,磁控溅射,磁电。磁性颗粒薄膜论文文献综述苏阿妹[1]...

导读:本文包含了纳米多层硬质薄膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:多层,纳米,硬度,薄膜,偏压,磁控溅射,电弧。纳米多层硬质薄膜论文文献综述刘元...

导读:本文包含了复合介质膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:介质,偏压,磁控溅射,应力,残余,脉冲,误差。复合介质膜论文文献综述何美荣[1]（2...

导读:本文包含了非晶硅薄膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:薄膜,太阳能电池,微结构,磁控溅射,激光,表面,参数。非晶硅薄膜论文文献综述杨秀钰,...