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  • 溅射法制备CeO2-TiO2薄膜的结构性能研究

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    张乃枝[1]2004年在《溅射法制备CeO_2-TiO_2薄膜的结构性能研究》文中指出本论文介绍了绿色镀膜玻璃的发展,对各类别节能镀膜玻璃膜系结构、光性能特点以及镀膜玻璃的制备方法进行了概括,阐述了未来绿色镀膜玻璃的发展趋势:采用低成本原材料和高效方便的制备工艺,制备具有复合型多功能薄膜具有更强的市...
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    中频交流反应溅射氧化钽薄膜制备及介电性能研究

    王超[1]2003年在《中频交流反应溅射氧化钽薄膜制备及介电性能研究》文中指出介电膜,是一种重要的电子薄膜。在微电子技术和光电子技术中有着广泛的应用。随着电容器件集成度越来越高,以SiO2为主的介质膜接近极限厚度,难以满足要求。氧化钽薄膜(Ta2O5)因为具有高介电常数和良好的热、化学稳定性,成为最...