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氮气流量和退火处理对射频磁控溅射氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响
论文摘要常温下利用TiO2陶瓷靶采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了N掺杂TiO2薄膜。利用光学轮廓仪、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪分析(XPS)和分光光度计等对...