氮化钛薄膜论文

磁控共溅射法在聚碳酸酯柔性基底镀TiN研究
论文摘要在较低的温度下,采用磁控溅射工艺在聚碳酸酯（PC）表面制备了TiN薄膜。应用激光共聚焦显微镜（CLSM）和X射线衍射仪（XRD）等研究了薄膜制备工艺对薄膜的表面微观形貌...
高功率脉冲磁控溅射制备的TiN薄膜应力释放及其结合稳定性研究
论文摘要目的探究高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）制备的氮化钛（TiN）薄膜在自然时效过程中,应力、薄膜/基体结合性能随时间的变化规律。方法采用高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）技...