单晶圆论文

单晶圆擦洗技术及优化方案的研究
论文摘要本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。论文目录0引言1单晶圆擦洗技术原理2单晶圆擦洗传统方案分析2.1方案一:...