等离子体参数论文

论文摘要射频感性耦合等离子体源可以在较低的射频电压下产生密度较高的等离子体、独立控制等离子体密度和入射到基片台上的离子能量,且不存在电极干扰。近年来,被广泛应用于半导体芯片刻蚀...

论文摘要随着等离子体在各个领域的广泛应用,人们对于快速高效的等离子体特性参数诊断技术的需求日益迫切。相比于传统的接触式诊断技术,非接触式的微波诊断技术不仅不会对目标等离子产生物...

论文摘要通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56MHz和2MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低...