等离子体反应器论文

利用等离子反应器从SiF4与CH4制备HF和SiC的探索研究
论文摘要研究了一个新型反应,即SiF4气体与CH4气体反应生成无水HF气体和SiC固体。该反应在最大能量为20eV的等离子反应器的固定床中进行,反应一段时间后,收集反应器壁上固...