等离子体增强磁控溅射论文

TC4钛合金表面的多层素CrN涂层
论文摘要采用热丝增强等离子体磁控溅射技术,通过改变基体偏压,在TC4钛合金表面沉积了多层素CrN涂层。利用SEM、EDS和XRD分别分析了多层素CrN涂层的形貌、成分及相结构,...