等离子体诊断论文

论文摘要高密度等离子体源在工业生产和科研领域都有广泛的应用,其产生方式多种多样,例如常见的射频电感耦合等离子体源和微波等离子体源。在射频电感耦合等离子体中,存在两种电磁场分布的...