等效回路模型论文

基于均匀离子密度的容性耦合射频放电等离子体的实验诊断研究
论文摘要容性耦合射频(CCRF)放电可用于制备大体积、均匀、低温非热平衡等离子体,已得到了国内外的广泛关注。针对CCRF放电过程中等离子体参量的诊断问题,本文提供了一种基于均匀...