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真空阴极电弧离子源磁场分析与设计
论文摘要真空阴极电弧离子源是多弧离子镀膜设备的核心部件,直接影响镀膜系统的整体性能。真空阴极电弧离子源在工作时,大液滴发射是阻碍电弧离子镀技术广泛深入应用的瓶颈问题。合理设计并...
电弧炉电弧放电时氮氧化物的产生及其控制的分析探讨
论文摘要分析了电弧炉电弧放电的工作原理,详细阐述了电弧炉放电产生氮氧化物的过程及反应机理,并通过减少放电间距、增加电弧柱内气体流量和湿度、增大电弧炉的体积、将气流方向平行于电极...