电子束沉积技术论文

论文摘要采用电子束沉积技术在石英玻璃、硅片基板上沉积了TiO2薄膜,利用热蒸发技术在TiO2薄膜表面沉积了不同厚度的Ag膜,研究了Ag膜厚度对TiO2薄膜结构、形貌、光学和光催...