电子束曝光论文

电子束曝光机电子束门电路
一、电子束曝光机束闸电路（论文文献综述）王俊[1]（2020）在《高深宽比氢原子钟准直器制备及其性能测试研究》文中进行了进一步梳理为了解决氢原子钟用准直器的多孔结构存在尺寸精度...
基于新型图形发生器的数据格式转换软件的研究
林滢[1]2003年在《基于新型图形发生器的数据格式转换软件的研究》文中研究表明数据格式转换软件是电子束曝光机不可缺少的辅助工具。本课题的主要任务是研制与新型图形发生器相匹配的数据格式转换软件。该软件在陈建辉编制的OurCutterV1.0的基础上，进一步扩展了从cif格式向新型图形发生器所特有的D...