电子束蒸发论文

基于电子束蒸发沉积的曲面纳米薄膜均匀性研究
论文摘要半球谐振子金属化是半球谐振陀螺研制过程中的重要环节,针对半球表面薄膜制备均匀性难以实现的问题,提出了一种将薄膜沉积实验和光学模拟相结合的方法。本文采用电子束蒸发技术在半...