论文摘要双频容性耦合等离子体(Dual-FrequenceCapacitivelyCoupledPlasmas,DF-CCPs)可以对轰击到基片表面的离子通量以及能量分别进行控...
论文摘要利用双温模型计算了飞秒脉冲激光辐照金属薄膜的热传递过程,金属薄膜为单层金膜和金/铜组成的双层金属薄膜。计算结果发现,在同样激光能量密度下,两种薄膜在表面处的电子温度的衰...
论文摘要首先采用有限元法数值计算了铜膜内的电子温度和晶格温度分布变化,揭示了铜膜内电子非平衡热输运时间随飞秒激光光束参量的变化情况。仿真结果表明,铜膜内的电子非平衡热输运时间会...
论文摘要目前激光诱导击穿光谱技术(LIBS)具有实验重复性差和检测灵敏度低等缺点,限制了LIBS的快速应用。相对于纳秒激光烧蚀而言,飞秒激光由于其烧蚀效率较高,热影响区较小,击...
论文摘要容性耦合射频(CCRF)放电可用于制备大体积、均匀、低温非热平衡等离子体,已得到了国内外的广泛关注。针对CCRF放电过程中等离子体参量的诊断问题,本文提供了一种基于均匀...
论文摘要实验主要研究样品温度(铜片)、ICCD延迟对离子体特性的影响,通过波长为532nm的激光聚焦到铜片,利用光接收器接收等离子体中原子和离子的发射光谱,从而处理得到光谱图和...