低频检测论文

低频MEMS矢量水听器技术研究
论文摘要矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,本文基于MEMS微加工工艺研制了一种可固定安装的复合式矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时...